·       Классический принцип измерения эллипсометрии – метод экстинкции 

·       Удобный и безопасный способ размещения образцов по горизонтали

·       Компактная интегрированная структура

·       Высокоточный лазерный источник света

·       Высокоточный лазерный источник света

·       Удобная автоматизированная работа

·       Управление безопасным доступом пользователей

·       Масштабируемые функции прибора

·       С помощью этого прибора можно выполнить ряд экспериментов по измерению поляризации путем соответствующего расширения, таких как эксперимент по закону Мариуса, измерение оптического вращения и т. д.

EX2 подходит для измерения толщины однослойных нанопленок в процессе обучении, а также может использоваться для измерения показателя преломления nи коэффициента экстинкции k объемных материалов.

EX2 также может измерять толщину пленки в простых научных исследованиях.

Измеряемые образцы EX2 включают микроэлектронику, полупроводники, интегральные схемы, солнечные элементы, оптические пленки, науки о жизни, химию, электрохимию, магнитные накопители, плоские дисплеи, обработку поверхностей полимеров и металлов и другие области.

Структура PCSA (P-поляризатор; C-компенсатор; S-образец; A-анализатор)

Диапазон 0-360 градусов

Автоматическое измерение под управлением компьютера

635нм (полупроводниковый лазер)

Дополнительно: 632,8 нм (гелий-неоновый лазер)

30 ° -90 °, точность 0,05 °

Для образцов SiO2 с толщиной пленки 100 нм на подложке Si повторяемость: 0,5 нм.

Прозрачная пленка: 1-4000 нм

1.3 – 10

0.014°

0-360°

Диаметр круглого образца составляет Φ120 мм, а прямоугольного образца может достигать 120 мм x 160 мм.

Регулировка высоты по оси Z: 16 мм; по двум осям наклона: ± 4 °